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J-GLOBAL ID：200903055114023013

金属酸化物膜、積層体、金属部材並びにその製造方法

Inventor： 大見 忠弘 ,  白井 泰雪 ,  森永 均 ,  河瀬 康弘 ,  北野 真史 ,  水谷 文一 ,  石川 誠
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学 ,  三菱化学株式会社
Agent (2)： 池田 憲保 ,  福田 修一
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2006309327
Publication number (International publication number)：WO2006134737
Application date： May. 09, 2006
Publication date： Dec. 21, 2006
Summary：

アルミニウムを主成分とする金属の保護に適した金属酸化物膜を提供する。アルミニウムを主成分とする金属の酸化物からなる膜であって、膜厚が10nm以上であり、前記膜からの放出水分量が1E18分子/cm2以下である金属酸化物膜、及びアルミニウムを主成分とする金属をpH4〜10の化成液中で陽極酸化して金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

半導体又は平面ディスプレイ製造装置の構造材保護用皮膜に用いる金属酸化物膜であって、アルミニウムを主成分とする金属の酸化物で構成され、膜の厚さが10nm以上であり、前記膜からの放出水分量が1E18分子/cm2以下であることを特徴とする金属酸化物膜。

IPC (6)：

C25D 11/04 ,  C25D 11/18 ,  C25D 11/08 ,  C25D 11/10 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205

FI (9)：

C25D11/04 302 ,  C25D11/04 308 ,  C25D11/18 ,  C25D11/18 311 ,  C25D11/18 312 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/205

F-Term (9)：

5F004AA15 ,  5F004BB29 ,  5F004BD04 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045AA18 ,  5F045AA19 ,  5F045BB15 ,  5F045EC05