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J-GLOBAL ID：200903055415850691

空間光変調器

Inventor：
ラリー ジェイ.ホーンベック

About ラリー ジェイ.ホーンベック


Applicant, Patent owner：
テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド

About テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド


Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996097041
Publication number (International publication number)：1996334709
Application date： Apr. 18, 1996
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：
【要約】【課題】 より効率的なリセット動作等DMDの性能を向上する。【解決手段】 増加した性能パラメータを有するDMD型の空間光変調器(10)である。画素ミラー(30)がヨーク(32)によって支持され、幾つかの構造体の間に電子静電引力(70,76,80,82)が生じる。まず、高架ミラー(30)と高架アドレス電極(50,52)の間、次に、ヨーク(32)と下部アドレス電極(26,28)の間に生じる。画素(30)は、従来の世代のデバイスに比べ、高アドレス・トルク、高ラッチ・トルク、高い復元力、及びより大きなマージンを達成する。基板アドレス電極(26,28)上のヨーク(32)の近接により、大きな引力が実現され、画素はアドレス・アップセットに感度が低く、より小さなリセット電圧を必要とし、スイッチスピードをより早める。
Claim (excerpt)：
空間光変調器であって、基板と、前記基板に近接して提供される第1の部分と、前記基板上に高架される第2の部分とを有するアドレス回路と、前記アドレス回路の第1の部分上に支持されるヨークと、前記ヨークに接続され、前記ヨークを支持する少なくとも1つのヒンジであって、前記ヒンジは前記ヨークを撓ませ、前記ヨーク上に高架され、ヨークによって支持され、前記高架アドレス回路の第2の部分上に位置付けられる画素とを含む空間光変調器。
IPC (2)：
G02B 26/08 ,  H04N 5/74
FI (2)：
G02B 26/08 E ,  H04N 5/74 B
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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