被覆摺動部材およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上代哲司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999240749
Publication number (International publication number)：2001064005
Application date： Aug. 27, 1999
Publication date： Mar. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】平滑であれば極めて低い摩擦係数を示す硬質炭素膜も、基材や膜の表面粗さが大きくなると、摩擦係数や相手攻撃性が大きくなるという問題が発生する。本発明は、硬質炭素膜を被覆した表面が粗い場合に、摩擦係数や相手攻撃性が小さい摺動特性を実現する。【解決手段】硬質炭素膜が被覆された摺動部材において、ヌープ硬度が2000以上8000以下である高硬度硬質炭素膜の上に、ヌープ硬度が2000未満の炭素膜、金属膜または化合物膜からなる上層被膜が積層されていることを特徴とする被覆摺動部材。

Claim (excerpt)：

硬質炭素膜が被覆された摺動部材において、ヌープ硬度が2000以上8000以下である高硬度硬質炭素膜の上に、ヌープ硬度が2000未満の炭素膜、金属膜または化合物膜からなる上層被膜が積層されていることを特徴とする被覆摺動部材。

IPC (4)：

C01B 31/02 101 , C23C 16/26 , C23C 28/00 , F16C 33/24

FI (4)：

C01B 31/02 101 Z , C23C 16/26 , C23C 28/00 B , F16C 33/24 Z

F-Term (55)：

3J011NA01 , 3J011QA03 , 3J011QA04 , 3J011SB02 , 3J011SB04 , 3J011SB05 , 3J011SB12 , 3J011SB13 , 3J011SB14 , 3J011SB15 , 3J011SB20 , 3J011SD01 , 3J011SE02 , 3J011SE06 , 4G046CB03 , 4G046CB08 , 4G046CC05 , 4G046CC06 , 4K030BA01 , 4K030BA02 , 4K030BA06 , 4K030BA07 , 4K030BA12 , 4K030BA14 , 4K030BA18 , 4K030BA20 , 4K030BA21 , 4K030BA27 , 4K030BA29 , 4K030BA35 , 4K030BA49 , 4K030BA50 , 4K030BB13 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030CA05 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030FA02 , 4K030LA23 , 4K044AA02 , 4K044AA06 , 4K044AA13 , 4K044BA02 , 4K044BA06 , 4K044BA08 , 4K044BA10 , 4K044BA17 , 4K044BA18 , 4K044BA19 , 4K044BB02 , 4K044BC01 , 4K044BC06 , 4K044CA13 , 4K044CA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

耐摩耗性硬質炭素被膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-273474 Applicant：大同特殊鋼株式会社
特開平1-246115
炭素または炭素を主成分とする被膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-197516 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

硬質皮膜の潤滑下での摩擦摩耗特性

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