圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータ制御方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鷹野寧
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004007320
Publication number (International publication number)：2005204394
Application date： Jan. 14, 2004
Publication date： Jul. 28, 2005
Summary：

【課題】アクチュエータを安定した出力にて駆動すると共に、出力低下を招くことなく軸ロック時の素子の過大振動を防止する。【解決手段】電極11の両側面に圧電セラミックス12a,12bを取り付ける。圧電セラミックス12aの外側面には駆動用電極13が、圧電セラミックス12bの外側面には駆動用電極13と振幅検知用電極14が取り付けられる。振幅検知用電極14は駆動体6の変形に伴い所定電圧を出力する。回転軸がロックされていない状態で出力が最大となる駆動体6の振幅Zを求め、これに対応する電極14からの出力電圧値を目標値として設定する。アクチュエータ駆動時は、出力電圧値と目標値とを比較し、出力電圧値が目標値となるように電極13に対する入力周波数を制御する。電極14の出力電圧が目標値を超えた場合は、電極13に対する入力電圧の周波数を変化させて駆動体6の変形量を減少させ、共振による過大な振幅を回避する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

軸部材に取り付けられ、平板状の中心電極と、前記中心電極の両側面に取り付けられた圧電素子と、前記圧電素子に取り付けられた駆動用電極とを備える駆動体と、前記圧電素子の少なくとも一方に取り付けられ、前記駆動体の変形に伴って所定の電圧を出力するセンサ用電極とを有することを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (3)：

H02N2/00 , H01L41/08 , H01L41/09

FI (4)：

H02N2/00 B , H01L41/08 M , H01L41/08 Z , H01L41/08 T

F-Term (3)：

3D025AA04 , 3D025AC01 , 3D025AD11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

アクチュエータ、ワイパ装置、表示装置およびモータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-293017 Applicant：株式会社ミツバ
ワイパ装置及び自動車用リヤワイパ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-335336 Applicant：株式会社ミツバ
回転駆動型アクチュエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-110952 Applicant：株式会社ミツバ

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