小型走査共焦点顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998030085
Publication number (International publication number)：1999183807
Application date： Feb. 12, 1998
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】マイクロ機械加工されて静電的に作動する走査鏡を備えた小型走査共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】小型走査共焦点顕微鏡は、点光源として機能する光ファイバと、光ファイバからの光を像平面上に合焦させ、像平面から反射された光を集め、この光を受容器上の点に合焦させるレンズと、視野を走査するために光を走査させるマイクロ機械加工走査鏡とを含む。

Claim (excerpt)：

点光源として機能する一方の端部を有する単一モード光ファイバと、該ファイバの前記一方の端部からの光を焦点平面上の点上に合焦させると共に該点から反射される光を集光して光ファイバの端部上に前記光を合焦させるレンズと、を含む型の走査光学顕微鏡であって、シリコン部材からなるマイクロ機械加工二軸走査鏡手段と、窒化シリコンヒンジであって、該ヒンジを中心にして回転できるように前記鏡手段を支持するための窒化シリコンヒンジと、第1の方向及び第2の直交方向に沿って光を走査し、それによって、焦点平面上の点が、前記第1及び第2の方向に走査され、光が焦点平面からレンズ及び走査鏡を介して光ファイバの端部に戻されるように鏡手段を静電的に作動させる手段と、を含む、ことを特徴とする走査光学顕微鏡。

IPC (4)：

G02B 21/06 , G02B 6/32 , G02B 21/00 , G02B 26/10 101

FI (4)：

G02B 21/06 , G02B 6/32 , G02B 21/00 , G02B 26/10 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特表平5-506318
特表平5-506318
走査方法と装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-108875 Applicant：アグファ-ゲーベルト・アクチエンゲゼルシヤフト

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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