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J-GLOBAL ID：200903056119528080

メッキ検査方法

Inventor： 芳賀 孝行
Applicant, Patent owner： 国際技術開発株式会社
Agent (1)： 村上 友一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000039256
Publication number (International publication number)：2001228099
Application date： Feb. 17, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】 モノクロ画像からメッキされているか否かを高精度で判別する。【解決手段】 下地とメッキした金属とで、他の波長領域より反射率の大きく異なる特定波長の光を検査対象に照射し、この特定波長の光に基づいたモノクロ画像を得、このモノクロ画像を例えば2値画像にしてメッキした金属と下地とを区別する。

Claim (excerpt)：

検査対象のモノクロ画像を得、このモノクロ画像に基づいてメッキがされているか否かを判別するメッキ検査方法において、下地とメッキした金属とで、他の波長領域より反射率の大きく異なる特定波長の光を前記検査対象に照射し、この特定波長の光に基づいたモノクロ画像を得ることを特徴とするメッキ検査方法。

IPC (6)：

G01N 21/956 ,  C25D 5/02 ,  C25D 21/12 ,  G01N 21/27 ,  G01N 33/20 ,  H01L 23/12

FI (6)：

G01N 21/956 B ,  C25D 5/02 Z ,  C25D 21/12 C ,  G01N 21/27 A ,  G01N 33/20 Q ,  H01L 23/12 L

F-Term (25)：

2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051BA04 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G055AA07 ,  2G055CA20 ,  2G055EA10 ,  2G055FA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059HH02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  4K024AA11 ,  4K024AB08 ,  4K024BA09 ,  4K024BB12 ,  4K024CB24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 鍍金検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-026194   Applicant：ジャパン・イー・エム株式会社
• 薄膜配線の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-125163   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭63-255646