感活性エネルギー線樹脂組成物、感活性エネルギー線樹脂フィルム及び該フィルムを用いるパターン形成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：池浦敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002196577
Publication number (International publication number)：2004037955
Application date： Jul. 04, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】中性水で現像可能な感活性エネルギー線樹脂組成物を提供する。【解決手段】水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F7/038 , C08F8/30 , G03F7/004 , G03F7/12

FI (4)：

G03F7/038 601 , C08F8/30 , G03F7/004 501 , G03F7/12

F-Term (31)：

2H025AA04 , 2H025AB06 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BA03 , 2H025BB01 , 2H025BC09 , 2H025BC14 , 2H025BC23 , 2H025BC42 , 2H025BE00 , 2H025CC17 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H096AA19 , 2H096BA03 , 2H096BA05 , 2H096BA07 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 4J100AD02P , 4J100BA02H , 4J100BA08H , 4J100BC43H , 4J100BC69H , 4J100CA31 , 4J100HA19 , 4J100HA43 , 4J100HA62 , 4J100JA37

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

不均質光開始剤、光重合性組成物およびその使用
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平8-531286 Applicant：チバスペシャルティケミカルズホールディングインコーポレーテッド
特開昭57-084451
蛍光面形成用感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-130056 Applicant：東洋合成工業株式会社

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