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J-GLOBAL ID：200903056405697620

高強度超短パルスレーザー加工方法およびその装置

Inventor： 熊谷 寛 ,  緑川 克美
Applicant, Patent owner： 理化学研究所
Agent (1)： 上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998023880
Publication number (International publication number)：1999207479
Application date： Jan. 21, 1998
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】【課題】固体表面に損傷を与えずに、固体内部のみを加工あるいは改質する。【解決手段】高強度超短パルスレーザー光を加工対象物に入力し、カー効果によって加工対象物の等位相面の空間的変化を起こして、高強度超短パルスレーザー光の自己収束を起こすとともに、カー効果により自己収束された高強度超短パルスレーザー光により光学的ブレークダウンを起こして、加工対象物中にプラズマ発生させることにより高強度超短パルスレーザー光を自己発散させ、高強度超短パルスレーザー光の加工対象物への入力強度を制御することにより、高強度超短パルスレーザー光の自己発散により自己収束を打ち消して、高強度超短パルスレーザー光の自己発散と自己収束とをバランスさせて、高強度超短パルスレーザー光が加工対象物を伝搬する方向に向かって線状の加工を行う。

Claim (excerpt)：

高強度超短パルスレーザー光を加工対象物に入力し、カー効果によって前記加工対象物の等位相面の空間的変化を起こして、高強度超短パルスレーザー光の自己収束を起こすとともに、前記カー効果により前記自己収束された高強度超短パルスレーザー光により光学的ブレークダウンを起こして、前記加工対象物中にプラズマ発生させることにより高強度超短パルスレーザー光を自己発散させ、前記高強度超短パルスレーザー光の前記加工対象物への入力強度を制御することにより、前記高強度超短パルスレーザー光の前記自己発散により前記自己収束を打ち消して、前記高強度超短パルスレーザー光の前記自己発散と前記自己収束とをバランスさせて、前記高強度超短パルスレーザー光が前記加工対象物を伝搬する方向に向かって線状の加工を行うことを特徴とする高強度超短パルスレーザー加工方法。

IPC (2)：

B23K 26/00 ,  H01S 3/00

FI (3)：

B23K 26/00 D ,  B23K 26/00 N ,  H01S 3/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光透過性材料のマーキング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-090605   Applicant：住友重機械工業株式会社