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J-GLOBAL ID：200903056462048832

露光方法および露光装置

Inventor： 小野塚 剛 ,  香椎 賢一
Applicant, Patent owner： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998186483
Publication number (International publication number)：2000019741
Application date： Jul. 01, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 被露光面12の全体に光を拡大して照射する場合に比べて、露光時間を短縮して露光効率を高め、小形化する。【解決手段】 可撓性導光体30でランプ26の光を露光ヘッド31に導き、露光ヘッド31で光を集光して被露光面12に照射し、移動手段32で露光ヘッド31を被露光面12に沿って走査移動させる。露光ヘッド31から照射される光の照度を測定部35で測定し、測定された光の照度に応じて露光ヘッド31の移動速度を制御部24で制御する。

Claim (excerpt)：

光を集光して被露光面に照射する工程と、集光された光の照度を測定する工程と、測定された照度に応じて集光された光を被露光面に沿って走査させる走査速度を求める工程と、求められた走査速度で集光された光を被露光面に沿って走査させながら照射する工程とを具備していることを特徴とする露光方法。

IPC (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 518

F-Term (12)：

2H097AA05 ,  2H097BB01 ,  2H097CA12 ,  2H097LA12 ,  5F046CA02 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB04 ,  5F046CB06 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046DB01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 周辺露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-090537   Applicant：株式会社ニコン