走査型透過電子顕微鏡

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994131572
Publication number (International publication number)：1995335172
Application date： Jun. 14, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】電磁場分布の空間変化が場所により大きく異なる試料を観察した場合でも、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる顕微鏡を提供する。【構成】走査型透過電子顕微鏡に、電子線を分離するバイプリズム、電子線の干渉縞の透過できるスリット、および電子線の強度および偏向を検出できる検出器を付加した。【効果】 1つの顕微鏡を走査ローレンツ電子顕微鏡と走査干渉電子顕微鏡として使うことができ、両者を使いわけることにより、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる。

Claim (excerpt)：

真空中で電子源から取り出した電子線を、2つ以上に分離する手段、分離した電子線を試料面上に収束する手段、収束した電子線を走査する手段、試料面を通過した電子線を検出する手段を備えた走査型透過電子顕微鏡において、電子線を検出する手段を、スリットと、電子線の位置と強度を検出できる機能を備えた検出器の組合せで構成したことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/26 , H01J 37/04 , H01J 37/09 , H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平2-197050
特開平4-206132
特開平3-081939

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