表面状態検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高梨幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995160012
Publication number (International publication number)：1996327558
Application date： Jun. 02, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】光ビームで走査して対象物の表面に付着している凸部を精度良く検出することのできる表面状態検査装置を得ること。【構成】光源手段からの光ビームを用いて走査手段で対象物を走査する際、該光ビームによる該対象物上における走査線と該光ビームによる該対象物上の走査点における接線とで形成される走査平面に対して、該光ビームの入射側と反対側の空間内に受光素子を設け、該受光素子により該走査平面よりも該光ビームの入射側の空間内に突出した該対象物上の凸部材から生じる散乱光を検出し、該受光素子からの出力信号を利用して該対象物上の表面状態を検査していること。

Claim (excerpt)：

光源手段からの光ビームを用いて走査手段で対象物を走査する際、該光ビームによる該対象物上における走査線と該光ビームによる該対象物上の走査点における接線とで形成される走査平面に対して、該光ビームの入射側と反対側の空間内に受光素子を設け、該受光素子により該走査平面よりも該光ビームの入射側の空間内に突出した該対象物上の凸部材から生じる散乱光を検出し、該受光素子からの出力信号を利用して該対象物上の表面状態を検査していることを特徴とする表面状態検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G02B 6/00 301

FI (3)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 C , G02B 6/00 301

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

容器の外被物検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-285764 Applicant：株式会社キリンテクノシステム
特開昭52-091935
表面状態検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-164228 Applicant：キヤノン株式会社

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