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J-GLOBAL ID：200903056727473530

ガス流から有害物質を除去する方法

Inventor：
ジェームズ ロバート スミス

About ジェームズ ロバート スミス

, 
アンドリュー ジェームズ シーリー

About アンドリュー ジェームズ シーリー


Applicant, Patent owner：
ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー

About ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー


Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997098738
Publication number (International publication number)：1998038245
Application date： Apr. 16, 1997
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ガス流から有害物質を除去する方法、特に、半導体処理室から出るガス流から非常に安定な過フルオロカーボンを燃焼によって除去する方法を提供することにある。【解決手段】 ガス流から有害物質の燃焼分解方法は、ガス流と添加した燃料ガスを混合物として、有孔ガスバーナの出口面によって囲まれた燃焼帯域(4)に噴射し、同時に、燃料ガスと空気/酸素混合物を有孔ガスバーナに供給して出口面で燃焼を行わせ、生じた燃焼生成物流を燃焼帯域から排出することからなり、酸素が、燃焼帯域への混合物の導入前にガス流及び燃料ガスに添加され、酸素/燃料ガス混合物が噴射箇所で燃焼することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ガス流と添加した燃料ガスを混合物として、有孔ガスバーナの出口面によって囲まれた燃焼帯域に噴射し、同時に、燃料ガスと空気/酸素混合物を有孔ガスバーナに供給して出口面で燃焼を行わせ、生じた燃焼生成物流を燃焼帯域から排出し、酸素が、燃焼帯域への混合物の導入前にガス流及び燃料ガスに添加され、酸素/燃料ガス混合物が噴射箇所で燃焼する、ガス流から有害物質の燃焼分解方法。
IPC (2)：
F23G 7/06 ZAB ,  A62D 3/00
FI (2)：
F23G 7/06 ZAB D ,  A62D 3/00
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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