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J-GLOBAL ID:200903056731138983

酸化珪素質被膜形成用塗布液

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992330304
Publication number (International publication number):1994172708
Application date: Dec. 10, 1992
Publication date: Jun. 21, 1994
Summary:
【要約】【目的】ジルコニウム塩を使用し、キレート化剤を添加することにより、安定でかつ400°C以下の低温で被膜形成が可能な塗布液を提供する。【構成】ジルコニウム塩、シリコンアルコキシド、キレート化剤、水および希釈用有機溶媒からなる酸化珪素質被膜形成用塗布液。
Claim (excerpt):
ジルコニウム塩、シリコンアルコキシドまたはその誘導体、キレート化剤、水および希釈用有機溶媒からなり、ジルコニウム塩中のZrの1モルに対してキレート化剤を2〜40モル添加することを特徴とする酸化珪素質被膜形成用塗布液
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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