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J-GLOBAL ID：200903056836847637
露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995332932
Publication number (International publication number)：1997171956
Application date： Dec. 21, 1995
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：
【要約】【課題】 露光光が単色光と見なせない場合であっても、容易に、しかも高精度に実際に使用される感光材料における投影像の結像特性を評価する。【解決手段】 水銀ランプ1からの照明光より波長選択フィルタ31を介してg線及びh線の混合光を露光光ILとして選択し、露光時には、露光光ILのもとでレチクルのパターンを投影光学系PLを介してフォトレジストが塗布されたプレート13上に投影露光する。結像特性の計測時には、レチクル11上の評価用マーク25の投影像の光束を基準パターン17を介して光電検出器22で受光し、この検出信号SAに基づいて投影像のベストフォーカス位置、及びディストーション等を求める。この際、色補正用フィルタ32によって、検出信号SAの露光光ILに対する分光感度を、フォトレジストの露光光ILに対する分光感度に合わせる。
Claim (excerpt)：
露光用光源からの所定の波長幅以上離れた複数の波長成分を含む広帯域の露光光で転写用パターンの形成されたマスクを照明する照明光学系と、前記露光光のもとで前記マスクのパターンを感光性の基板上に投影する投影光学系と、前記基板を位置決めする基板ステージと、を有する露光装置において、前記基板ステージ上に配置され所定の基準パターンが形成された基準部材と、前記露光光のもとで前記投影光学系を介して前記基準部材上に投影される所定のマスク上のパターンの光学像の内で前記基準パターンを介した光束を受光する光電変換素子と、該光電変換素子から出力される検出信号の前記露光光に対する分光感度特性を前記感光性の基板の前記露光光に対する分光感度特性に合わせるための感度制御手段と、を備え、該感度制御手段によって分光感度特性が制御された前記光電変換素子の検出信号に基づいて前記所定のマスク上のパターンの光学像の位置を検出することを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 526 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 A
Cited by examiner (7)
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