フッ素系界面活性剤及びその組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998015407
Publication number (International publication number)：1999209787
Application date： Jan. 28, 1998
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】【課題】消泡性、リコート性、現像等の後加工性を実用レベルにまで引き上げ、さらに高速、高剪断力を伴う過酷な塗工方法に対しても優れたレベリング性を有するフッ素系界面活性剤及びその組成物を提供する。【解決手段】有機溶媒中での表面損失エネルギーが110×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤及び水あるいは水と有機溶媒との混合溶媒中での表面損失エネルギーが7000×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤及びそれを含む組成物に関する。

Claim (excerpt)：

有機溶媒中での表面損失エネルギーが110×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤。

IPC (14)：

C11D 1/04 , B01F 17/52 , B01F 17/54 , C08F 20/24 , C08F 30/08 , C08F290/06 , C09D 7/06 , C11D 1/12 , C11D 1/34 , C11D 1/68 , C11D 1/72 , C11D 1/722 , C11D 1/74 , G03F 7/004 504

FI (14)：

C11D 1/04 , B01F 17/52 , B01F 17/54 , C08F 20/24 , C08F 30/08 , C08F290/06 , C09D 7/06 , C11D 1/12 , C11D 1/34 , C11D 1/68 , C11D 1/72 , C11D 1/722 , C11D 1/74 , G03F 7/004 504

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-196882 Applicant：三菱化学株式会社
特開平4-222805
特開平3-030825

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