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J-GLOBAL ID：200903056878551320

共焦点型検査装置

Inventor： 武居 利治
Applicant, Patent owner： 住友大阪セメント株式会社
Agent (4)： 宮川 貞二 ,  内藤 忠雄 ,  柴田 茂夫 ,  金井 俊幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005169960
Publication number (International publication number)：2006343596
Application date： Jun. 09, 2005
Publication date： Dec. 21, 2006
Summary：

【課題】 検査対象の検査をより正確に行うことのできる共焦点型検査装置を提供する。【解決手段】 検査対象2に対向して配置された対物光学系5と;対物光学系5を介して検査対象2に輝点光10aを投光する投光部10と;輝点光10aで検査対象2を二次元に走査する二次元走査系20と;対物光学系5を介して検査対象2から戻ってくる投光された輝点光10aを結像する結像光学系6と;結像光学系6を介した光を受光する受光部40と;検査対象2と受光部40との間の光路中に配置された第1の臨界角プリズム100とを備える共焦点型検査装置。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

検査対象に対向して配置された対物光学系と; 前記対物光学系を介して前記検査対象に輝点光を投光する投光部と; 前記輝点光で前記検査対象を二次元に走査する二次元走査系と; 前記対物光学系を介して前記検査対象から戻ってくる前記投光された輝点光を結像する結像光学系と; 前記結像光学系を介した光を受光する受光部と; 前記検査対象と前記受光部との間の光路中に配置された第1の臨界角プリズムとを備える; 共焦点型検査装置。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24

FI (2)：

G02B21/00 ,  G01B11/24 A

F-Term (32)：

2F065AA04 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065AA61 ,  2F065DD12 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL00 ,  2F065LL07 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS12 ,  2H052AA07 ,  2H052AB06 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AF03 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 共焦点型検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-339652   Applicant：住友大阪セメント株式会社

Cited by examiner (3)

• 特開平4-340911
  
• 共焦点型検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-339652   Applicant：住友大阪セメント株式会社
• 顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-430029   Applicant：フジノン株式会社