Pat

J-GLOBAL ID：200903056898238505

電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタおよび画像生成型エネルギフィルタの使用

Inventor： フンネマン、ディートマー ,  エッシャー、マッティアス
Applicant, Patent owner： オミクロン、ナノ・テヒノロギー・ゲーエムベーハー ,  フォーカス・ゲーエムベーハー・ゲレーテ・ツーア・エレクトロネンシュペクトロスコピー・ウント・オベルフレヒェンアナリティク
Agent (11)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004549103
Publication number (International publication number)：2006505898
Application date： Nov. 04, 2003
Publication date： Feb. 16, 2006
Summary：

【課題】本発明は、電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタに関する。【解決手段】第1のエネルギ分析器(30)の出口面(5)と第2のエネルギ分析器(40)の前記入口面(6)との間には、トランスファレンズ手段(20)が設けられている。これにより、サンプル(1)の表面(1 ́)の、検出器(10)への、エネルギ濾過された、収差のない結像が可能となる。

Claim (excerpt)：

電子およびイオンのような電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタであって、少なくとも2つの、環状の、相前後して設けられたエネルギ分析器を具備し、少なくとも1つのエネルギ分析器は、入口面および出口面に、夫々絞りを有してなるエネルギフィルタにおいて、 前記第1のエネルギ分析器(30,30 ́,30 ́ ́)の前記出口面(5)と前記第2のエネルギ分析器(40,40 ́,40 ́ ́)の前記入口面(6)との間には、トランスファレンズ手段(20)が設けられており、このトランスファレンズ手段は、負の横倍率VLと、負の角倍率VWと、角度γ=β-180°分の画像の回転と、テレスコープ状のビームパスとを有し、ここで、夫々の偏向角Φは等しく、また、エネルギ分散面(33,43)は、互いに角度βだけ回転されていることを特徴とするエネルギフィルタ。

IPC (2)：

H01J 49/44 ,  H01J 37/05

FI (2)：

H01J49/44 ,  H01J37/05

F-Term (4)：

5C033AA01 ,  5C033AA05 ,  5C038KK07 ,  5C038KK08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• フォトイオン分光計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-273396   Applicant：ユナイテッドステイツデパートメントオブエナージィ
• 特開平4-233145
  
• 磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-182405   Applicant：エルエーオーエレクトローネンミクロスコーピーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング