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J-GLOBAL ID：200903056996960197

ブレード摩耗補償方法

Inventor： 関家 一馬 ,  高橋 敏昭
Applicant, Patent owner： 株式会社ディスコ
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994085928
Publication number (International publication number)：1995273070
Application date： Mar. 31, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ロットが異なる毎に現実のウェーハを実際に切削してそのロット固有のブレード摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいて各ロット毎に高精度なブレードハイト制御が出来るようにした、ブレード摩耗補償方法を提供する。【構成】 ウェーハのダイシングによって生じるブレード摩耗を補償してブレードのハイト制御を行うブレード摩耗補償方法において、ウェーハの厚さ、酸化膜等の膜厚がロット毎に異なることに着目し、ブレードの摩耗量をそのロットのウェーハを切削することにより実測してロット固有の摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいてハイト制御をロット毎に遂行する。

Claim (excerpt)：

ウェーハのダイシングによって生じるブレードの摩耗を補償してブレードのハイト制御を行うブレード摩耗補償方法において、ウェーハの厚さ、酸化膜等の膜厚がロット毎に異なることに着目し、ブレードの摩耗量をそのロットのウェーハを切削することにより実測してロット固有の摩耗データを作成し、この摩耗データに基づいてハイト制御をロット毎に遂行するブレード摩耗補償方法。

IPC (2)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06

FI (2)：

H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 Q

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-097805
  
• ダイシング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-335591   Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 特開昭62-097805