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J-GLOBAL ID：200903057158116011

光検出または照射用の光プローブと該プローブを備えた近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板

Inventor： 八木 隆行 ,  島田 康弘 ,  黒田 亮 ,  池田 勉
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998272600
Publication number (International publication number)：1999166935
Application date： Sep. 09, 1998
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】高密度に複数の光プローブを形成することが可能であり、複数の光プローブを容易に試料に近づけることができ、光検出手段または発光手段との接続の容易な近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板を提供する。【解決手段】光プローブは、基板1と、該基板に形成された複数の光導波路用のスルーホール3からなる光検出または照射用の光プローブであって、前記複数のスルーホールが前記基板の裏面に形成された凹部2内に設けられ、該スルーホールの基板裏面の開口径を基板表面の開口径に比して大きくしたこと、また、光プローブの製造方法は、基板1の裏面に凹部を形成する工程と、前記凹部にエッチングによりスルーホール3を形成する工程と、前記スルーホールの壁面に光透過防止膜5を形成する工程とを少なくとも有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に形成された複数の光導波路用のスルーホールからなる光検出または照射用の光プローブであって、前記複数のスルーホールが前記基板の裏面に形成された凹部内に設けられ、該スルーホールの基板裏面の開口径を基板表面の開口径に比して大きくしたことを特徴とする光プローブ。

FI (2)：

G01N 37/00 E ,  G01N 37/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ニアフィールド顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-328856   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチツプの作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-096404   Applicant：オリンパス光学工業株式会社