FPDの保護膜用蒸着材及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須田正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001163910
Publication number (International publication number)：2002294432
Application date： May. 31, 2001
Publication date： Oct. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】真空成膜用容器の内部に設置した直後の脱ガス排気処理時間を短縮し、特性が安定した均一な成膜が可能な蒸着材を得る。【解決手段】FPDの保護膜用蒸着材は、表面がフッ化物層12で覆われた多結晶体11,焼結体又は単結晶体により形成される。多結晶体11,焼結体又は単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物若しくは希土類酸化物,又はアルカリ土類酸化物及び希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成され、フッ化物層12がガス状フッ素化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物若しくは希土類酸化物,又はアルカリ土類酸化物及び希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られる。

Claim (excerpt)：

表面がフッ化物層(12)で覆われた多結晶体(11),焼結体又は単結晶体により形成されたFPDの保護膜用蒸着材。

IPC (7)：

C23C 14/24 , C04B 35/495 , C04B 41/80 , C04B 41/87 , C23C 14/08 , H01J 9/02 , H01J 11/02

FI (7)：

C23C 14/24 E , C04B 41/80 B , C04B 41/87 D , C23C 14/08 J , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B , C04B 35/00 J

F-Term (27)：

4G030AA05 , 4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA09 , 4G030AA10 , 4G030AA11 , 4G030AA58 , 4G030BA01 , 4G030GA32 , 4G030GA35 , 4K029BA43 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029DB21 , 4K029GA00 , 5C027AA07 , 5C040FA01 , 5C040FA09 , 5C040GE07 , 5C040GE08 , 5C040JA07 , 5C040KA04 , 5C040KB01 , 5C040KB08 , 5C040KB19 , 5C040MA23 , 5C040MA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

FPD用保護膜の製造方法及びそのFPD用保護膜並びにこれを用いたFPD
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-139766 Applicant：三菱マテリアル株式会社
希土類フッ化物被膜を有する希土類酸化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-243341 Applicant：八尾健
特開平4-160148

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