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J-GLOBAL ID：200903057291317542

原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法

Inventor：
中 本 圭 一

About 中 本 圭 一


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005348550
Publication number (International publication number)：2006292720
Application date： Dec. 02, 2005
Publication date： Oct. 26, 2006
Summary：
【課題】 正確なエネルギー散逸像を得ることのできる原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法を提供すること。【解決手段】 原子間力顕微鏡は、試料21と接触するための探針20を有するカンチレバー1と、カンチレバー1に振動を加えるための加振手段と、設定された振幅設定値に基づいて加振手段を制御するための加振制御手段と、カンチレバー1の振動の振幅を検出する振幅検出手段17と、カンチレバー1の振動に基づくエネルギーの散逸像を形成する像作成手段19とを具備し、当該振幅設定値と振幅検出手段により検出された振幅検出値との差異に基づく差異情報を加振手段にフィードバックすることにより、カンチレバー1が共振状態となるように加振手段がカンチレバー1を振動させるとともに、当該差異情報に基づいて像作成手段19がエネルギーの散逸像を形成する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料と接触するための探針を有するカンチレバーと、カンチレバーに振動を加えるための加振手段と、設定された振幅設定値に基づいて加振手段を制御するための加振制御手段と、カンチレバーの振動の振幅を検出する振幅検出手段と、カンチレバーの振動に基づくエネルギーの散逸像を形成する像作成手段とを具備した原子間力顕微鏡において、当該振幅設定値と振幅検出手段により検出された振幅検出値との差異に基づく差異情報を加振手段にフィードバックすることにより、カンチレバーが共振状態となるように加振手段がカンチレバーを振動させるとともに、当該差異情報に基づいて像作成手段がエネルギーの散逸像を形成することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30
F-Term (12)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG15 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069NN00 ,  2F069NN02 ,  2F069NN07 ,  2F069NN09 ,  2F069NN16 ,  2F069QQ05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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