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J-GLOBAL ID：200903057295958372

洗浄槽

Inventor： 平塚 豊 ,  秋山 正
Applicant, Patent owner： 株式会社ダン科学
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993260505
Publication number (International publication number)：1995115080
Application date： Oct. 19, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】洗浄液の汚染を防ぎ、洗浄効率が良い洗浄槽を得る。【構成】槽内中央部に設けた囲壁13の細孔をもつ支持棚15に洗浄物14を置き、囲壁外の洗浄槽下部から流入する洗浄液17を支持棚下から排出する。

Claim (excerpt)：

洗浄物を搬出入できるだけの間隙と高さを有する筒状の囲壁を、上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽底部に固着し、上記洗浄物が十分に洗浄液中に浸漬されるような上記囲壁の中間位置に、所定の細孔を所要数設けた洗浄物の支持棚を設置し、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に複数個設けた注入口から注入した洗浄液を、吸引排出する排出口を、上記支持棚の下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-237718
  
• 半導体ウエハ用洗浄リンス槽
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-350731   Applicant：中澤孝夫