非接触形状測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：足立勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999200481
Publication number (International publication number)：2001027517
Application date： Jul. 14, 1999
Publication date： Jan. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】深い縦穴であっても、視野が遮られることなく被接触で形状を測定できる非接触形状測定方法を得る。【解決手段】被測定物36の測定対象領域に視野の遮りがない方向から格子パターン34を投影レンズ32を介して投影し、格子パターン像をハーフミラー42を介して結像レンズ44によりCCD50の受光面46に結像させる共焦点光学系を形成する。そして、被測定物36を光軸方向に所定間隔で移動しながら移動間隔毎に格子パターン像を撮像し、格子パターン像のコントラストに基づいて被測定物36の穴36の深さを測定する。コントラストは格子パターン像の振幅最大値に基づいて判断する。

Claim (excerpt)：

被測定物に格子パターンを投影し、この格子像から前記被測定物を測定する非接触形状測定方法において、前記被測定物の測定対象領域に視野の遮りがない方向から前記格子パターンを投影レンズを介して投影し、該格子パターン像をハーフミラーを介して結像レンズにより画像センサの受光面に結像させる共焦点光学系を形成し、前記被測定物を光軸方向に所定間隔で移動しながら移動間隔毎に格子パターン像を撮像し、該格子パターン像のコントラストに基づいて前記被測定物の3次元形状を測定することを特長とする非接触形状測定方法。

F-Term (13)：

2F065AA25 , 2F065AA45 , 2F065AA54 , 2F065FF10 , 2F065FF51 , 2F065GG02 , 2F065HH06 , 2F065JJ03 , 2F065JJ16 , 2F065JJ23 , 2F065JJ26 , 2F065LL37 , 2F065QQ44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

物体のイメージ、画像を記録、撮像のための方法及び装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平8-522591 Applicant：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ
光学窓を用いる非接触式3次元微少形状測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-309462 Applicant：ヒージェバク, スォンウクチョ
共焦点型焦点位置検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-132363 Applicant：ブラザー工業株式会社

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