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J-GLOBAL ID:200903057438780189

ウィーンフィルタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002258353
Publication number (International publication number):2004095489
Application date: Sep. 04, 2002
Publication date: Mar. 25, 2004
Summary:
【課題】四極子電気成分と磁気成分が同一の分布を有するウィーンフィルタを提供する。【解決手段】荷電粒子の進行方向であるZ軸にほぼ平行な光軸を有し、この光軸にほぼ平行な面を持つN個(N≧12)の極を有するウィーンフィルタであって、X軸方向に双極子電場が生成され、X軸方向から光軸について反時計回りに第i極(1≦i≦N)において四極子電気成分及び磁気成分をそれぞれ生成する電圧V2(i)及びアンペアターンNI2(i)は、前記反時計回りに第i極の中心までの角度をθiとし、四極子成分が4個の極で構成されるときに与えられるべき電圧及びアンペアターンをそれぞれV2max及びNI2maxとすると、次の式によって与えられる。V2(i)=V2max×cos(2θi)NI2(i)=NI2max×sin(2θi)【選択図】 図1
Claim (excerpt):
荷電粒子の進行方向であるZ軸にほぼ平行な光軸を有し、この光軸にほぼ平行な面を持つN個(N≧12)の極を有するウィーンフィルタにおいて、 X軸方向に双極子電場が生成され、X軸方向から光軸について反時計回りに第i極(1≦i≦N)において四極子電気成分及び磁気成分をそれぞれ生成する電圧V2(i)及びアンペアターンNI2(i)は、前記反時計回りに第i極の中心までの角度をθiとし、四極子成分が4個の極で構成されるときに与えられるべき電圧及びアンペアターンをそれぞれV2max及びNI2maxとすると、次の式(1)及び(2)によって与えられることを特徴とするウィーンフィルタ。 V2(i)=V2max×cos(2θi) (1) NI2(i)=NI2max×sin(2θi) (2)
IPC (1):
H01J37/05
FI (1):
H01J37/05
F-Term (1):
5C033AA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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