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J-GLOBAL ID：200903057537668897

機能性膜含有構造体、及び、機能性膜の製造方法

Inventor： 坂下 幸雄
Applicant, Patent owner： 富士フイルムホールディングス株式会社
Agent (2)： 渡部 温 ,  宇都宮 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005166407
Publication number (International publication number)：2006344618
Application date： Jun. 07, 2005
Publication date： Dec. 21, 2006
Summary：

【課題】 成膜基板上に形成された機能性膜を、成膜基板から容易に剥離することができる剥離方法を含む機能性膜の製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に分離層を形成する工程(a)と、分離層上に、機能性材料を用いて形成される機能性膜を含む被剥離層を形成する工程(b)と、分離層に外力を与えて分離層の層内又は界面に割れを生じさせることにより、被剥離層を基板から剥離し、又は、被剥離層と基板との接合強度を低下させる工程(c)とを含む。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板と、 前記基板上に形成された分離層と、 前記分離層上に配置され、機能性材料を用いて形成された機能性膜を含む被剥離層と、 を具備し、 前記分離層に外力を与えて前記分離層の層内又は界面に割れを生じさせることにより、前記被剥離層が前記基板から剥離され、又は、前記被剥離層と前記基板との接合強度が低下することを特徴とする機能性膜含有構造体。

IPC (8)：

H01L 21/02 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/824 ,  H01L 21/20 ,  H01L 41/22

FI (8)：

H01L21/02 B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101E ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L27/10 444C ,  H01L21/20 ,  H01L41/22 Z

F-Term (24)：

5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083PR33 ,  5F152LL03 ,  5F152LL10 ,  5F152LL20 ,  5F152LP01 ,  5F152LP07 ,  5F152NN03 ,  5F152NN04 ,  5F152NN06 ,  5F152NN07 ,  5F152NN08 ,  5F152NN12 ,  5F152NN14 ,  5F152NN16 ,  5F152NN19 ,  5F152NN30 ,  5F152NP02 ,  5F152NP13 ,  5F152NP17 ,  5F152NQ03 ,  5F152NQ13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開昭54-94905号公報(第1、3頁)
  
• 剥離方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-300371   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 薄膜デバイスの転写方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-410773   Applicant：セイコーエプソン株式会社