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J-GLOBAL ID：200903057569079281
感光性ポリマー及びこれを含む化学増幅型フォトレジスト組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
八田 幹雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000374768
Publication number (International publication number)：2001200014
Application date： Dec. 08, 2000
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：
【要約】【課題】 主鎖が完全にノルボルネン型の脂環式ユニットだけから構成された感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 式:【化1】(式中、R1は酸により分解される第3アルキルエステル基であり、R2は水素原子、メチル、エチル、カルボキシル、γ-ブチロラクトン-2-イル-エステル、γ-ブチロラクトン-3-イル-エステル、パントラクトン-2-イル-エステル、メバロニックラクトンエステル、3-テトラヒドロフラニル-エステル、2,3-プロピレンカーボネート-1-イル-エステル、3-メチル-γ-ブチロラクトン-3-イル-エステルまたは炭素数3〜20の脂環式炭化水素化合物であり、a/(a+b+c)=0.1〜0.7であり、b/(a+b+c)=0.1〜0.8であり、c/(a+b+c)=0.0〜0.8であり、nは0〜2の整数である。)で示される感光性ポリマーである。
Claim (excerpt)：
式I:【化1】(式中、R1は酸により分解される第3アルキルエステル基であり、R2は水素原子、メチル、エチル、カルボキシル、γ-ブチロラクトン-2-イル-エステル、γ-ブチロラクトン-3-イル-エステル、パントラクトン-2-イル-エステル、メバロニックラクトンエステル、3-テトラヒドロフラニル-エステル、2,3-プロピレンカーボネート-1-イル-エステル、3-メチル-γ-ブチロラクトン-3-イル-エステルまたは炭素数3〜20の脂環式炭化水素化合物であり、a/(a+b+c)=0.1〜0.7であり、b/(a+b+c)=0.1〜0.8であり、c/(a+b+c)=0.0〜0.8であり、nは0〜2の整数である。)で示される感光性ポリマー。
IPC (10)：
C08F 32/04
, C08K 5/00
, C08K 5/02
, C08K 5/17
, C08K 5/36
, C08K 5/42
, C08L 45/00
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
C08F 32/04
, C08K 5/00
, C08K 5/02
, C08K 5/17
, C08K 5/36
, C08K 5/42
, C08L 45/00
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
