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J-GLOBAL ID：200903057882437520
ポジ型感光性樹脂組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068799
Publication number (International publication number)：1995281441
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：
【要約】【構成】 ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、シリコーンジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および下記式の感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【効果】 シリコンウェハー等の基板との密着性に優れ、かつ現像時において高残膜率のパターンを得ることができる。
Claim (excerpt)：
ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、一般式(1)で表せられる構造のジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (5)：
G03F 7/039
, C08K 5/23
, C08L 79/04 LRA
, C08L 79/08 LRC
, G03F 7/022
Cited by examiner (9)
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