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J-GLOBAL ID：200903058101701500
露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
高橋 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996217841
Publication number (International publication number)：1998048847
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：
【要約】【課題】 アライメント不良による不良品の発生のない露光装置を提供する。【解決手段】 フィルムマスクFとワークKを密着させた後、位置合わせマーク3、4の位置を検出し、許容公差範囲外の場合にはフィルムマスクFとワークKの密着を解放し、再度アライメントを行い同じ動作を繰り返す。これによりアライメント不良による不良品の発生を防止できる。
Claim (excerpt)：
フィルムマスクと露光されるワークとを相対的に移動させて位置合わせを行うための手段と、位置合わせされたフィルムマスクとワークとを密着させる手段と、密着されたフィルムマスクとワークとの位置合わせ精度を検出する手段と、該検出された位置合わせ精度が所定の許容公差外である場合、フィルムマスクとワークとの密着を解き、フィルムマスクとワークとの位置合わせを行うための手段と、該フィルムマスクを密着させたワークを露光する手段と、を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (3)：
G03F 9/00
, C23F 1/00 102
, H01L 21/027
G03F 9/00 H
, C23F 1/00 102
, H01L 21/30 506 H
, H01L 21/30 507 R
