レーザ加工装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：宮田金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997039365
Publication number (International publication number)：1998235484
Application date： Feb. 24, 1997
Publication date： Sep. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】像転写光学系を用いたレーザ加工装置における高精度安定加工を実現する。【解決手段】マスクを複数個回転板上に配置するとともに、回転板に対し半径方向に対して移動可能な位置微調整機構を設け、制御装置からの指令で、回転板を回転装置により回転・位置決めして、所望のマスクを選択する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発信出力するレーザ発振器と、所望のマスク穴を有するマスクと、上記マスクを保持する回転板と、上記回転板を回転させる回転装置と、上記マスクを上記回転板の非回転方向に対して、位置移動可能に設けられた位置調整装置と、上記回転板を回転させ上記マスクを選択し、上記レーザ光の光路に配置する制御装置とを備え、上記レーザ光を、上記マスクを通して被加工物に照射して、所望の加工を行うレーザ加工装置。

IPC (2)：

B23K 26/06 , B23K 26/00

FI (2)：

B23K 26/06 J , B23K 26/00 M

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開昭62-240188
特開昭59-078870
特開昭63-056383

Show all

Cited by examiner (2)

特開昭62-240188
特開昭59-078870

Return to Previous Page