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J-GLOBAL ID：200903058188713207

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 嶋田 篤文 ,  佐野 公康 ,  遠藤 昌之 ,  別所 信夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995065454
Publication number (International publication number)：1996262709
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 感放射線性を有し、解像度が高く、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、硬度、透明性の諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分5〜50重量%、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分10〜90重量%、(c)その他のモノオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分10〜70重量%、および(d)共役ジオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分3〜30重量%からなるアルカリ可溶性樹脂100重量部と、(B)1,2-キノンジアジド化合物5〜100重量部とが含有されてなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分5〜50重量%、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分10〜90重量%、(c)その他のモノオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分10〜70重量%、および(d)共役ジオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分3〜30重量%からなるアルカリ可溶性樹脂100重量部と、(B)1,2-キノンジアジド化合物5〜100重量部とが含有されてなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/022 ,  C08F 2/46 MDT ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/312

FI (6)：

G03F 7/022 ,  C08F 2/46 MDT ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/312 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-137559   Applicant：日本合成ゴム株式会社