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J-GLOBAL ID：200903058300290950

プロセスと品質との関係についてのモデル作成装置及びモデル作成方法

Inventor：
山田 賢太郎

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青山 行宏

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小川 実

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中村 寿一

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合川 禎一

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Applicant, Patent owner：
キヤノンシステムソリューションズ株式会社

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オムロン株式会社

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Agent (1)： 松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003435947
Publication number (International publication number)：2005197323
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Jul. 21, 2005
Summary：
【課題】 プロセスの状態に関して取得でき、品質との関連についての予測によって絞り込まれていない多種類の情報に基づいて、対象品の品質の推測に用いることのできるモデルを作成する装置及び方法を提供すること【解決手段】 モデル作成装置10は、プロセスを構成する各プロセスステップが実行されている期間中に時系列に取得される、プロセスの状態に関連する情報であるプロセス状態情報と、そのプロセスで処理された対象品についての検査結果情報とを入力し、プロセス状態情報から抽出されるプロセス特徴量と検査結果情報との関係を表すプロセス-品質モデルを作成する。特徴量抽出部10bは、単位対象品ごと及びプロセスステップごとにプロセス特徴量を抽出する。解析部10eは、関連する単位対象品が共通していることによって対応付けられたプロセス特徴量と検査結果情報とを用いて、データマイニングによる解析を実行することにより、プロセス-品質モデルを作成する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
プロセスを構成する各プロセスステップが実行されている期間中に時系列に取得される、プロセスの状態に関連する情報であるプロセス状態情報と、そのプロセスで処理された対象品についての検査結果情報とを入力し、プロセス状態情報から抽出されるプロセス特徴量と検査結果情報との関係を表すプロセス-品質モデルを作成するモデル作成装置であって、 プロセス状態情報を入力する第1の入力部と、 検査結果情報を入力する第2の入力部と、 対象品又は対象品グループ(以下、この特許請求の範囲において単位対象品という)ごと及びプロセスステップごとにプロセス状態情報からプロセス特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、 関連する単位対象品が共通していることによって対応付けられたプロセス特徴量と検査結果情報とを用いて、データマイニングによる解析を実行することにより、プロセス特徴量と検査結果情報との関係を表すプロセス-品質モデルを作成する解析手段と を備えるモデル作成装置。
IPC (5)：
H01L21/02 ,  G05B19/418 ,  G06F17/60 ,  G06F19/00 ,  H01L21/00
FI (5)：
H01L21/02 Z ,  G05B19/418 Z ,  G06F17/60 108 ,  G06F19/00 110 ,  H01L21/00
F-Term (21)：
3C100AA58 ,  3C100BB27 ,  3C100CC07 ,  3C100CC11 ,  3C100CC16 ,  3C100DD14 ,  3C100DD22 ,  3C100DD25 ,  3C100DD32 ,  3C100EE06 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DA12 ,  4K029DC16 ,  4K029EA03 ,  4K029EA04 ,  4K029EA06 ,  4K029EA08 ,  4K029EA09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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