Dec. 22, 1993
Jul. 21, 1995
【要約】【目的】 小型で、長寿命で、しかも低電圧で大きな走査角度が得られる光スキャナを安価に提供する【構成】 弾性変形部3と弾性変形部3の一端に設けられた振動入力部4と、その他端に設けられたほぼ逆L字状をしたミラー支持部8とからなるプレート9をベリリウム銅合金やステンレス鋼SUS631からプレス加工等により一体として作成する。このとき、弾性変形部3の厚さTと長さLの比L/Tをほぼ100≧L/T≧50、厚さTとその幅WをW≧Tとなるように作成する。また、弾性変形部3と振動入力部4との接続部11及び弾性変形部3とミラー支持部8との接続部11に、その半径Rが1
Claim (excerpt):
少なくとも1つの弾性変形モードを有する弾性変形部と、前記弾性変形部の一端に設けられ、印加された振動を前記弾性変形部に伝える振動入力部と、前記振動入力部の他端に設けられ、前記弾性変形部の弾性変形モードに応じて回動するスキャン部と、前記振動入力部に振動を印加する加振源とを備えた光スキャナにおいて、前記弾性変形部の厚さTと前記弾性変形部の長さLの比L/Tを、ほぼ100≧L/T≧50とすることを特徴とする光スキャナ。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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光スキャナ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-128218
Applicant:オムロン株式会社
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