基板上への焼結体の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997536896
Publication number (International publication number)：1999508326
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】本発明は、基板上へ焼結体構造を製造する方法に関する。この目的のため、(マルチプリントヘッド)インクジェットプリンタを用いて、前記基板上へ粒子を含有する液体を堆積する。続いて、前記液体を蒸発させ、前記液体中に含まれる粒子を各層毎に焼結する。このように各層毎にレーザ焼結を行うことにより、高い寸法精度を有する3次元生成物を得ることができる。好ましくは、前記液体の蒸発を(同じ)レーザを用いて行う。前記液体は、ガラス、セラミックス、又は金属化合物を含み、ゾル・ゲル状あるいはコロイド状を呈することが好ましい。

Claim (excerpt)：

粒子を含有した液体を、インクジェットプリンタを用いて基板上に堆積し、その後、前記液体を蒸発させ、液体中に存在する粒子を焼結して、基板上に焼結体を製造するに当たり、前記粒子をレーザを用いて焼結することを特徴とする基板上への焼結体の製造方法。

IPC (6)：

B22F 7/04 , B22F 3/105 , C04B 35/64 , H01L 49/00 , H05K 3/10 , H05K 3/46

FI (6)：

B22F 7/04 A , H01L 49/00 Z , H05K 3/10 D , H05K 3/46 H , B22F 3/10 N , C04B 35/64 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-211935
特開平3-146606
特開平1-127630

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