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J-GLOBAL ID:200903058585641255
マトリックス電極振動子およびそのセンサ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995005791
Publication number (International publication number):1996193854
Application date: Jan. 18, 1995
Publication date: Jul. 30, 1996
Summary:
【要約】【目的】 微小で、高感度で、マルチチャンネル化が可能なマトリックス水晶振動子センサを提供する。【構成】 水晶振動子板2と、該水晶振動子板2の一方面に形成された少なくとも1本の帯状電極3と、該水晶振動子板2の他方面に該帯状電極3と略直交方向となるように形成された複数の帯状電極3とから構成されてなる。
Claim (excerpt):
水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形成された少なくとも1本の帯状電極と、該水晶振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成された複数の帯状電極とからなることを特徴とするマトリックス電極振動子。
IPC (2):
Patent cited by the Patent: