成形型およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997149214
Publication number (International publication number)：1998337734
Application date： Jun. 06, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】ガラス製の回折素子をプレス成形によって作製する際に使用される従来の成形型としては、(i) 型材料を研削加工して転写パターンを形成したもの、および、(ii)母材上に設けた薄膜を所定形状にパターニングすることによって転写パターンを形成したもの、が知られているが、前者の成形型は製造コストが高く、後者の成形型は転写パターン自体の寿命が比較的短い。【解決手段】型材料にドライエッチングによって所定形状の転写成形素面を形成して母材を得、前記の転写成形素面の形状を反映するようにして当該転写成形素面上に離型膜を成膜することによって成形型を得るか、または、ドライエッチングによって型材料自体に転写成形面を形成して成形型を得る。

Claim (excerpt)：

ドライエッチングによって形成された所定形状の転写成形素面を有している母材と、前記の転写成形素面の形状を反映するようにして該転写成形素面上に成膜されている離型膜とを具備し、前記の離型膜の表面が転写成形面となっていることを特徴とする成形型。

IPC (5)：

B29C 33/38 , C03B 11/00 , C03B 40/00 , C04B 35/52 , C23F 4/00

FI (5)：

B29C 33/38 , C03B 11/00 N , C03B 40/00 , C23F 4/00 Z , C04B 35/52 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-083720
特開平2-137803
特開平3-154002

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