生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996187741
Publication number (International publication number)：1998032155
Application date： Jul. 17, 1996
Publication date： Feb. 03, 1998
Summary：

【要約】【解決手段】多品種の半導体集積回路を混合して生産するのに好適な生産管理装置および生産管理方法。少なくとも生産ロット毎に付与され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、少なくとも製造手段毎に付与される製造処理条件情報から次に行う製造処理の内容を規定する生産情報を人間が介在し選択的に予約する生産情報予約手段と、前記生産情報予約手段により作成された前記生産情報を管理するとともに、生産情報通知手段からの要求に基づく、前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理を行う生産情報管理手段と、前記各生産情報により指定された生産ロットを、所定の製造手段で所定の製造処理を施すために必要な情報を作業者、および製造手段に通知する生産情報通知手段とを具備する。【効果】状況の変化に素早く対応したロット処理スケジューリング結果を得ることができ、効率よい生産形態が実現できる。

Claim (excerpt)：

少なくとも生産ロット毎に付与され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、少なくとも製造手段毎に付与される、前記製造手段の製造処理条件情報から、次に行う製造処理の内容を規定する生産情報を人間が介在して選択的に予約する生産情報予約手段と、前記生産情報予約手段により作成された前記生産情報を管理するとともに、生産情報通知手段からの要求に基づく、前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理を行う生産情報管理手段と、前記各生産情報により指定された生産ロットを、所定の製造手段で所定の製造処理を施すために必要な情報を作業者、および製造手段に通知する生産情報通知手段とを具備することを特徴とする生産管理装置。

IPC (3)：

H01L 21/02 , G06F 17/60 , B23Q 41/08

FI (3)：

H01L 21/02 Z , B23Q 41/08 B , G06F 15/21 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ロット管理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-177299 Applicant：ソニー株式会社
生産工程スケジュール方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-224667 Applicant：日本電信電話株式会社
半導体製造装置およびデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-330950 Applicant：キヤノン株式会社

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