Pat
J-GLOBAL ID：200903058679747111

感光性樹脂組成物

Inventor：
真壁 裕明

About 真壁 裕明

, 
竹内 江津

About 竹内 江津


Applicant, Patent owner：
住友ベークライト株式会社

About 住友ベークライト株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005263474
Publication number (International publication number)：2007078781
Application date： Sep. 12, 2005
Publication date： Mar. 29, 2007
Summary：
【課題】 ポリイミド樹脂を用いた場合には、硬化前の前駆体であるポリアミド酸が配線に用いられている銅を腐食し、その結果マイグレーションが発生するという課題があった。またポリイミド樹脂は硬化温度が約350°Cと高く、硬化反応の際に銅が酸化されてしまう過大も見られた。本発明は上記事情にかんがみてなされたものであり、その目的とするところは耐湿クラック性、吸水性に優れた感光性樹脂組成物を提供することにある。【解決手段】 (A)酸性基を有する環状オレフィン系樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)130°C以上の温度で(A)の酸性基と結合しうる反応基を有する化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であって、前記(C)として、少なくとも、一分子中にエポキシ基を2個以上有する化合物、及び、一分子中にオキセタン基を2個以上有する化合物を用いることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
(A)酸性基を有する環状オレフィン系樹脂、 (B)光酸発生剤、及び (C)130°C以上の温度で(A)の酸性基と結合しうる反応基を有する化合物、 を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であって、 前記(C)として、少なくとも、一分子中にエポキシ基を2個以上有する化合物、及び、一分子中にオキセタン基を2個以上有する化合物を用いることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (16)：
2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CB42 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM