プラズマ生成装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003397156
Publication number (International publication number)：2005158573
Application date： Nov. 27, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】両極性パルス電圧を用いてプラズマを生成させるプラズマ生成装置において、両極性パルス電圧を発生させる手段として高圧直流電源、およびインバータ回路を用いる方式では、スイッチング素子などに高耐圧仕様の部品を用いねばならず、装置の大型化、高コストになることが問題であった。【解決手段】充電用直流電源とコンデンサと、1次側に中間タップを有する昇圧用パルストランスと、分割される1次側巻線のそれぞれの端子にそれぞれON-OFF用半導体スイッチを接続し、この1次側巻線とON-OFF用半導体スイッチとコンデンサを共通にした2組の閉回路を構成し、2組の閉回路に流す電流をON-OFF用半導体スイッチで選択制御し、前記パルストランスの2次巻線に両極性パルス電圧を発生させ、2次巻線に接続された対向する電極間にプラズマを生成させる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

充電用直流電源と該直流電源により充電されるコンデンサと、1次側に中間タップを有する昇圧用パルストランスと、該昇圧用パルストランスの中間タップで分割される1次側巻線のそれぞれの端子にそれぞれON-OFF用半導体スイッチを接続し、前記パルストランスの1次側巻線と前記ON-OFF用半導体スイッチと前記コンデンサを共通にした2組の閉回路を構成し、該2組の閉回路に流す電流を前記ON-OFF用半導体スイッチで選択制御し、前記パルストランスの2次巻線に両極性パルス電圧を発生させ、前記パルストランスの2次巻線に接続された対向する電極間にプラズマを生成させることを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (3)：

H05H1/46 , C23C16/515 , H05H1/24

FI (3)：

H05H1/46 R , C23C16/515 , H05H1/24

F-Term (2)：

4K030FA01 , 4K030KA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プラズマ生成方法、プラズマ生成装置、プラズマ利用表面処理方法、並びにプラズマ利用ガス処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-028277 Applicant：株式会社伸精機, 杉本敏司, 後藤誠一

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