めっき装置及びめっき液除去方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邉勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000241503
Publication number (International publication number)：2002060995
Application date： Aug. 09, 2000
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】基板保持部の基板との当接部に残っためっき液を容易かつ迅速に除去することができ、しかも構造が簡単で設置スペースが少なくて済むようにする。【解決手段】基板Wを保持する基板保持部72を有する回転自在なハウジング70を備えたヘッド部47と、ヘッド部47の下方に配置されてめっき液45を保持するめっき処理槽46と、ハウジング70の基板保持部72の内周端の基板との当接部360乃至その近傍に付着しためっき液を除去するめっき液除去手段300とを有する。

Claim (excerpt)：

基板を保持する基板保持部を有する回転自在なハウジングを備えたヘッド部と、前記ヘッド部の下方に配置されてめっき液を保持するめっき処理槽と、前記ハウジングの前記基板保持部の内周端の基板との当接部乃至その近傍に付着しためっき液を除去するめっき液除去手段とを有することを特徴とするめっき装置。

IPC (5)：

C25D 7/12 , C25D 17/00 , C25D 21/00 , H01L 21/288 , H01L 21/768

FI (5)：

C25D 7/12 , C25D 17/00 D , C25D 21/00 B , H01L 21/288 E , H01L 21/90 C

F-Term (35)：

4K024AA09 , 4K024BB12 , 4K024CB01 , 4K024CB03 , 4K024CB06 , 4K024CB14 , 4K024CB18 , 4K024CB19 , 4K024CB26 , 4K024DA03 , 4K024DB10 , 4M104BB04 , 4M104BB30 , 4M104CC01 , 4M104DD52 , 4M104FF18 , 4M104FF22 , 4M104HH20 , 5F033HH11 , 5F033HH33 , 5F033JJ01 , 5F033JJ11 , 5F033JJ33 , 5F033KK01 , 5F033MM02 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033QQ09 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033XX00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

基板メッキ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-263851 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
メッキ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-117010 Applicant：日本電気株式会社
基板メッキ方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-033204 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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