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J-GLOBAL ID:200903058929174309
波長安定化装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994093229
Publication number (International publication number):1995302948
Application date: May. 02, 1994
Publication date: Nov. 14, 1995
Summary:
【要約】【目的】射出光の波長が非常に安定している波長安定化装置を提供する。【構成】筐体10には光源ユニット12が光軸の回りに回転可能に設けられている。光源ユニット12は半導体レーザー14とコリメートレンズ16と光アイソレーター18を含んでいる。半導体レーザーの近くには温度センサー20とペルチェ素子22が設けられている。温度センサー20の出力に応じてペルチェ素子22を駆動する温度制御部26が設けられている。光源ユニット12の前方には、偏光ビームスプリッター28、1/4波長板32、エタロン34、フォトダイオード36が順に配置されている。フォトダイオード36の出力に応じた注入電流を半導体レーザー14に供給する電流制御部38が設けられている。偏光ビームスプリッター28の反射光の光路上に1/4波長板30が配置されている。1/4波長板30は筐体10に固定されていて測定光54の射出窓となっている。
Claim (excerpt):
半導体レーザーとコリメートレンズを内蔵した光源ユニットと、半導体レーザーの温度を制御する温度制御手段と、光源ユニットの射出光を第一の光束と第二の光束に分ける偏光ビームスプリッターと、第一の光束の波長を弁別する波長弁別器と、波長弁別器を通過した光を受光する光検出器と、光検出器の出力に基づいて半導体レーザーの注入電流を制御する電流制御手段と、偏光ビームスプリッターと波長弁別器の間の光路上に配置された第一の1/4波長板と、第二の光束の光路上に位置し筐体に固定された第二の1/4波長板とを備え、第二の1/4波長板から射出された光が他の装置に利用される波長安定化装置。
IPC (4):
H01S 3/133
, G01B 11/02
, G01J 1/08
, G01J 9/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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半導体レーザ測長器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-113466
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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波長安定化光源装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-213705
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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