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J-GLOBAL ID：200903058935664920

波長可変フィルタ及びその製造方法

Inventor： 中村 亮介 ,  紙透 真一 ,  村田 昭浩 ,  與田 光宏
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (5)： 小林 久夫 ,  安島 清 ,  佐々木 宗治 ,  大村 昇 ,  高梨 範夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004126012
Publication number (International publication number)：2005309099
Application date： Apr. 21, 2004
Publication date： Nov. 04, 2005
Summary：

【課題】 より低電圧で駆動を行える波長可変光フィルタ及びその製造方法を得る。【解決手段】 可動反射面を有し、可動反射面と垂直な方向に変位することで、所定の波長の光を透過させ、所定の波長の光以外の波長の光を反射させる可動体21a、可動体21aを変位可能にした上で支持する連結部21b及び支持部21c並びに可動体21aを変位させる静電力を発生させ、可動体21aと共に変位する可動櫛歯電極21dが一体形成された可動部2と、可動櫛歯電極21dと第1のギャップを有して設けられ、可動櫛歯電極21dとの間で静電力を発生させる固定櫛歯電極12が形成された固定電極部1と、可動反射面と光学ギャップOGを有して対向して設けられ、可動反射面により反射された光をさらに反射する固定反射面を有する固定櫛歯側基板部3とを備えている。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

可動反射面を有し、該可動反射面と垂直な方向に変位することで、所定の波長の光を透過させ、該所定の波長の光以外の波長の光を反射させる可動体、該可動体を変位可能にした上で支持する支持体及び前記可動体を変位させる静電力を発生させ、前記可動体と共に変位する可動櫛歯電極が一体形成された可動部と、 前記可動櫛歯電極と第1のギャップを有して設けられ、前記可動櫛歯電極との間で前記静電力を発生させる固定櫛歯電極が形成された固定電極部と、 前記可動反射面と第2のギャップを有して対向して設けられ、前記可動反射面により反射された光をさらに反射する固定反射面を有する固定反射部と を備えたことを特徴とする波長可変フィルタ。

IPC (3)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B5/28

FI (3)：

G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B5/28

F-Term (11)：

2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H048GA25 ,  2H048GA51 ,  2H048GA62

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ファブリペローフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-371261   Applicant：横河電機株式会社
• 米国特許6341039号明細書(第6欄〜第7欄、図4A〜図4I)