ファブリペローフィルタ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000371261
Publication number (International publication number)：2002174721
Application date： Dec. 06, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】可動鏡を構成する膜の応力の設計範囲を広くするとともに、その膜の成膜装置依存性を小さくした波長可変ファブリペローフィルタを提供する。【解決手段】ファブリペローフィルタの可動鏡を、引張応力を示す膜と圧縮応力を示す膜とを積層してなる多層光学薄膜、又は、互いに異なる引張応力を示す膜を積層してなる多層光学薄膜により形成する。多層光学薄膜は、例えば、高屈折率膜F1/低屈折率膜F2/高屈折率膜F3をこの順で積層した3層構造とする。

Claim (excerpt)：

固定鏡と、固定鏡との間にギャップを形成した状態で固定鏡に対向配置された可動鏡とを有し、可動鏡を固定鏡に対して変位させることにより前記ギャップの長さを可変としたファブリペローフィルタにおいて、前記可動鏡を、引張応力を示す少なくとも1枚の膜と、圧縮応力を示す少なくとも1枚の膜とを積層してなる多層光学薄膜により形成したことを特徴とするファブリペローフィルタ。

IPC (2)：

G02B 5/28 , G02B 26/00

FI (2)：

G02B 5/28 , G02B 26/00

F-Term (9)：

2H041AA05 , 2H041AB10 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H048GA07 , 2H048GA13 , 2H048GA33 , 2H048GA51

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-062501
多層膜光学部品およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-083176 Applicant：キヤノン株式会社
シングルチャンネルガス濃度測定の方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-002123 Applicant：ヴァイサラオイ

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