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J-GLOBAL ID：200903059025712960
レーザー光の波面の測定法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999288301
Publication number (International publication number)：2001108530
Application date： Oct. 08, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：
【要約】【課題】測定装置の簡素化及び小型化を図り、レーザー光の強度分布の測定からレーザー光の波面を求める測定法を提供する。【解決手段】レーザー光の波面の測定法は、レーザー光の光軸に垂直な且つ光軸に沿って間隔を有する2つの平面でのレーザー光の強度分布を測定する段階、及び前記段階により得られた測定値に基づき所定の計算アルゴリズムに従ってレーザー光の波面を求める段階を含む。所定の計算アルゴリズムが、フレネル伝搬計算を含むことにより、2つの平面の間隔が任意に選択可能であり、また、2つの平面以外のレーザー光の波面が推定可能である。
Claim (excerpt)：
レーザー光の波面の測定法であって、レーザー光の光軸(z)に垂直な且つ光軸に沿って間隔を有する2つの平面でのレーザー光の強度分布を測定する段階、及び前記段階により得られた測定値(I0,IZ)に基づき所定の計算アルゴリズムに従ってレーザー光の波面φ(x,y)を求める段階を含むことを特徴とする測定法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
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投影レンズの収差測定方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-085042
Applicant：株式会社日立製作所
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強度関係による空間波頭評価
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-020411
Applicant：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
Article cited by the Patent：
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