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J-GLOBAL ID：200903059161581054

欠陥分類方法及びその装置

Inventor：
奥田 浩人

About 奥田 浩人

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本田 敏文

About 本田 敏文

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高木 裕治

About 高木 裕治

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宮本 敦

About 宮本 敦


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002234302
Publication number (International publication number)：2004077165
Application date： Aug. 12, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：
【課題】教示データを多数収集する必要がなく、かつ、ユーザによって異なる欠陥分類要求に対して柔軟に対応が可能な、信頼性の高い欠陥自動分類。【解決手段】システムが提供するクラス、またはユーザが定義したクラスを、ユーザが任意に組み合わせて分類クラス構成を定義し、更に、ユーザが欠陥のクラスに関する先験的知識を制約として与え、制約付の学習を行う。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
試料を撮像して該試料の画像を得る工程と、 該試料の画像を参照画像と比較して前記試料の欠陥画像を抽出する工程と、 該抽出した欠陥画像を該欠陥画像を分類するための複数のクラスとの対応付けを行う工程と、 該対応付けの情報を記憶する工程と、 前記欠陥画像を複数のクラスに分類する為の制約条件を設定する工程と、 前記記憶した対応付けの情報と前記設定した制約条件とを用いて前記抽出した欠陥画像を前記複数のクラスに分類する工程と、 該分類した欠陥画像を画面上に表示する工程と を備えたことを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (4)：
G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00
FI (4)：
G01N21/88 J ,  G01N21/956 B ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300F
F-Term (21)：
2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21 ,  2G051ED30 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC02 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096HA07 ,  5L096JA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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