検査装置および検査方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000195128
Publication number (International publication number)：2002014054
Application date： Jun. 28, 2000
Publication date： Jan. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】検査装置による自動分類に加えて、ユーザのニーズに対応してユーザカテゴリ分類設定を可能にした検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一の領域と表示された撮像画像の特徴に応じて分類された撮像画像(分類撮像画像という。)を表示する第二の領域とを有する表示手段とを備え、該表示手段は、被検体の分類カテゴリを表示し、分類カテゴリについて手動によって設定されるユーザカテゴリを表示し、該ユーザカテゴリに応じて選択された撮像画像をユーザカテゴリごとの分類撮像画像の集合として表示する。

Claim (excerpt)：

撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一の領域と表示された撮像画像の特徴に応じて分類された撮像画像(分類撮像画像という。)を表示する第二の領域とを有する表示手段とを備えた検査装置において、前記表示手段は、被検体の分類カテゴリを表示し、分類カテゴリについて手動によって設定されるユーザカテゴリを表示し、該ユーザカテゴリに応じて選択された撮像画像をユーザカテゴリごとの分類撮像画像の集合として表示することを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , H01L 21/66

FI (3)：

G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J

F-Term (22)：

2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051CA04 , 2G051EC01 , 2G051FA01 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ18 , 4M106DJ23 , 4M106DJ38 , 5B057AA03 , 5B057BA24 , 5B057CC02 , 5B057CD05 , 5B057CE08 , 5B057DA03 , 5B057DA16 , 5B057DC32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

検査方法、検査システムおよび電子デバイスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-341991 Applicant：株式会社日立製作所
画像ファイル記録方法および画像ファイリングシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-199178 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ウエーハ表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-173899 Applicant：株式会社東芝

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