Pat

J-GLOBAL ID：200903059465379820

光プローブアレイヘッド装置

Inventor： 桑原 正史 ,  中野 隆志 ,  富永 淳二 ,  阿刀田 伸史
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  桑原 正史
Agent (1)： 工業技術院産業技術融合領域研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999242783
Publication number (International publication number)：2001067711
Application date： Aug. 30, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】光プローブアレイに光検出部を設けることにより、従来の技術では光検出に必要な光学レンズ系を省略し、さらに光検出部を複数に分割することにより正確に記録マーク列をなぞるトラッキングなどの位置制御を可能にする光プローブアレイヘッド装置を提供する。【解決手段】複数の開口部2を有した光プローブアレイ1に、光を検出する光検出器を各々のプローブに複数配置し、試料や記録媒体からの信号を同時に多数検出する。光検出器は、微細加工技術によりプローブアレイと一体化され、上記複数の開口部を取り巻くように設置され、微弱な近接場光散乱を効率よく検出するような構成、あるいは上記光検出器を複数に分割し、該分割された検出器の出力信号を用いて信号処理を行うことによりトラッキングを行うような構成、あるいは上記光プローブアレイに、信号の処理に必要な回路を微細加工技術を用いて設ける。

Claim (excerpt)：

複数の開口を有した光プローブアレイに光を検出する光検出器を各々のプローブに複数配置し、試料や記録媒体からの信号を同時に多数検出する光プローブアレイヘッド装置。

IPC (9)：

G11B 7/13 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/42 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/14 ,  G02B 21/06 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22

FI (9)：

G11B 7/13 ,  G01J 1/04 G ,  G01J 1/42 P ,  G01N 13/10 G ,  G01N 13/14 B ,  G02B 21/06 ,  G11B 7/09 C ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 7/22

F-Term (43)：

2G065AB09 ,  2G065AB19 ,  2G065AB24 ,  2G065BA02 ,  2G065BA04 ,  2G065BA34 ,  2G065BB04 ,  2G065BB36 ,  2G065BB46 ,  2G065BC07 ,  2G065BC16 ,  2G065BE05 ,  2G065CA12 ,  5D118AA04 ,  5D118AA06 ,  5D118AA13 ,  5D118BA01 ,  5D118BB02 ,  5D118CA13 ,  5D118CD03 ,  5D118CD08 ,  5D118CF01 ,  5D118CF03 ,  5D118CF06 ,  5D118CF10 ,  5D118CG01 ,  5D118DC01 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119BA01 ,  5D119CA06 ,  5D119CA10 ,  5D119DA01 ,  5D119DA05 ,  5D119EA02 ,  5D119JA34 ,  5D119KA02 ,  5D119KA04 ,  5D119KA17 ,  5D119KA19 ,  5D119KA20 ,  5D119NA05 ,  5D119NA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 近接場光プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-334505   Applicant：株式会社リコー, 財団法人神奈川科学技術アカデミー