オンチップマイクロレンズ及びその作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本孝久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992312675
Publication number (International publication number)：1994140611
Application date： Oct. 29, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】異なる方向における曲率半径が最適化されたオンチップマイクロレンズ及びその作製方法を提供する。【構成】オンチップマイクロレンズは、垂直方向に組み合わされた2つ以上のレンズ部32,42を有する。その作製方法は、(イ)下地材料層上に第1の熱変形樹脂層を形成した後、第1の熱変形樹脂層をパターニングし、次いで加熱処理を施して、第1の熱変形樹脂層から所定のレンズ形状を有する下側レンズ部32を形成し、(ロ)下側レンズ部32の上に第2の熱変形樹脂層を形成した後、第2の熱変形樹脂層をパターニングして下側レンズ部の所定領域上に第2の熱変形樹脂層を残し、次いで加熱処理を施して、かかる第2の熱変形樹脂層から所定のレンズ形状を有する上側レンズ部42を形成する工程から成る。

Claim (excerpt)：

垂直方向に組み合わされた2つ以上のレンズ部を有することを特徴とするオンチップマイクロレンズ。

IPC (3)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平3-283572
特開平4-233759
特開平4-037165

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