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J-GLOBAL ID：200903059615050202

平板型マイクロレンズの製造方法

Inventor：
浜中 賢二郎

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松田 厚範

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谷口 敏

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新井 大介

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岸本 隆

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平山 直人

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Applicant, Patent owner：
日本板硝子株式会社

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Agent (1)： 小山 有 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996191936
Publication number (International publication number)：1998039112
Application date： Jul. 22, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 2枚のガラス基板にて挟まれる領域に、高屈折率樹脂材料からなるレンズ部と低屈折率樹脂材料とが積層された平板型マイクロレンズを効率よく製造する。【解決手段】 成形型となるガラス基板の表面に湿式エッチングにて多数の微小凹部を1次元または2次元的に形成し、マスクを介さずに再度湿式エッチングを行うことで、多数の微小凹部を稠密状とし、この表面に離型剤を塗布し、その上に光硬化性或いは熱硬化性の高屈折率樹脂材料を塗布し、この高屈折率樹脂材料の上に第1のガラス基板を重ね、高屈折率樹脂材料を展開せしめた後、高屈折率樹脂材料を硬化せしめ、硬化せしめた高屈折率樹脂材料と第1のガラス基板とを成形型となるガラス基板から剥離し、第1のガラス基板上の硬化した高屈折率樹脂材料層の上に低屈折率樹脂材料を塗布し、この低屈折率樹脂材料の上に第2のガラス基板を重ね、低屈折率樹脂材料を展開せしめた後、低屈折率樹脂材料を硬化せしめる。
Claim (excerpt)：
第1及び第2のガラス基板にて挟まれる領域に、高屈折率樹脂材料と低屈折率樹脂材料とが積層され、これら2種類の樹脂材料の境界面は微小球面または微小円筒面が1次元または2次元的に配列された平板型マイクロレンズの製造方法であって、この製造方法は以下の第1工程〜第6工程からなることを特徴とする平板型マイクロレンズの製造方法。(第1工程)成形型となるガラス基板の表面にマスクを介して湿式エッチングを行うことで、球面状または円筒面状をなす多数の微小凹部を1次元または2次元的にガラス基板の表面に形成する工程。(第2工程)第1工程で微小凹部が形成された成形型となるガラス基板の表面にマスクを介さずに再度湿式エッチングを行うことで、多数の微小凹部を稠密状に配列せしめる工程。(第3工程)第2工程で形成された稠密状に配列された微小凹部を有する成形型となるガラス基板の表面に離型剤を塗布し、その上に光硬化性或いは熱硬化性の高屈折率樹脂材料を塗布する工程。(第4工程)第3工程で塗布した高屈折率樹脂材料の上に第1のガラス基板を重ね、高屈折率樹脂材料を展開せしめた後、高屈折率樹脂材料を硬化せしめる工程。(第5工程)第4工程で硬化せしめた高屈折率樹脂材料と第1のガラス基板とを成形型となるガラス基板から剥離し、第1のガラス基板上の硬化した高屈折率樹脂材料層の上に低屈折率樹脂材料を塗布する工程。(第6工程)第5工程で塗布した低屈折率樹脂材料の上に第2のガラス基板を重ね、低屈折率樹脂材料を展開せしめた後、低屈折率樹脂材料を硬化せしめる工程。
IPC (6)：
G02B 3/00 ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 17/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530
FI (6)：
G02B 3/00 A ,  B29D 11/00 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 17/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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