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J-GLOBAL ID:200903059634389300
金属ポリマーフィルム
Inventor:
,
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995141827
Publication number (International publication number):1996332697
Application date: Jun. 08, 1995
Publication date: Dec. 17, 1996
Summary:
【要約】【構成】 プラスチックフィルムの片面上または両面上に、チタン、コバルト、モリブテン、及びニッケルのうち、少なくとも2種以上含む合金層を形成し、該合金層上に銅層を形成することを特徴とする金属ポリマーフィルム。【効果】 本発明の金属ポリマーフィルムは高温耐久性が良好で、二次加工性時の性能劣化が、大幅に緩和されたフレキシブル基板材料であり、半導体産業にとって、極めて有用な発明である。
Claim (excerpt):
プラスチックフィルムの片面上または両面上に、チタン、コバルト、モリブテン、及びニッケルのうち、少なくとも2種以上含む合金層を形成し、該合金層上に銅層を形成することを特徴とする金属ポリマーフィルム。
IPC (7):
B32B 15/08
, C23C 14/06
, C23C 14/20
, C23C 28/00
, C23C 28/02
, H05K 1/09
, H05K 3/38
FI (7):
B32B 15/08 J
, C23C 14/06 N
, C23C 14/20 A
, C23C 28/00 D
, C23C 28/02
, H05K 1/09 A
, H05K 3/38 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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