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J-GLOBAL ID：200903059960648838

感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ

Inventor：
竹内 信弘

About 竹内 信弘

, 
丹羽 一明

About 丹羽 一明

, 
遠藤 昌之

About 遠藤 昌之


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000174948
Publication number (International publication number)：2001354822
Application date： Jun. 12, 2000
Publication date： Dec. 25, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高い感放射線性を有し、耐熱性、耐溶剤性に優れたパターン状薄膜を容易に形成できる感放射線性樹脂組成物、およびそれから形成される層間絶縁膜、マイクロレンズを提供すること。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)マレイミド系モノマー及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジアジド化合物が含有されていることを特徴とする。層間絶縁膜、およびマイクロレンズは、上記の感放射線性樹脂組成物より形成される。
Claim (excerpt)：
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)マレイミド系モノマー及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジアジド化合物が含有されていることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (8)：
C08L 35/00 ,  C08K 5/28 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/768
FI (8)：
C08L 35/00 ,  C08K 5/28 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 A ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/90 S
F-Term (24)：
2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  4J002BC041 ,  4J002BG011 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BH021 ,  4J002CD191 ,  4J002EQ036 ,  4J002FD146 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR27 ,  5F033SS22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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